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[Semiconductor Equipment] 三星SFM2-C(Smart Component Inspector)简介

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admin实名认证 手机认证 发表于 2015-9-5 18:10:44 | 显示全部楼层 |阅读模式

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  Z# ?% Q1 X' C5 z1 a' M1 u( @8 M- x$ Y: r% o% S
实现世界最高生产性2 e5 _! C' X3 ~3 t8 s* E" H
6 N; G9 g# D* I- D  Y
SFM2-C是每个头部配有4个轴杆的1Gantry前面Access结构,根据高性能线性马达控制器可实现精密触摸识别功能,且通过 0.1N级别的解像度可控制最高达20N的电流力量的倒桩芯片贴片机, 该可实现世界最快时速6,800 UPH。另外,在XY悬臂中适用了精密线性马达控制系统,从而贴装精度高达±8μm @3σ+ L; K5 P- Q6 G

1 _  B: o$ |3 @9 R& R■ Max 6,800 UPH (Optimum)) D* H: j" t$ a; u
■ 4 Spindles/Head * 1 Gantry
) O& P8 K! ~( S8 Q8 W■ Accuracy : ±8μm @3σ! b4 s. x; {5 N
■ Die Size : □0.5 ~ 32mm
* y0 S  Y% J8 ~8 x& x: n■ Wafer Size : 6, 8, 12"! A' K( c+ P5 H2 Z( J
■ Bump Pitch : Min 50μm
2 J% R: G; T6 a& b■ Substrate Size : Max 330(L) * 225(W)mm
8 e. `' n" w$ W; Z3 K■ Waffle Tray Feeder (Option)0 b5 `! o6 I; U: q; H7 x! Y4 W
+ A% \: k7 X, H3 |+ ~( f7 G
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