SM482抛料报警，求高手赐教

一台SM482生产时发生抛料报警时执行抛料正常，但手动取料后，再执行抛料动作时，机器即报警同时伺服系统掉电。
即：正常生产时的抛料动作正常，手动抛料时报警。
1 C( r% T  G1 s; v0 k. Q/ D机器6个头都有此故障。
1 G# S. K6 I- u' f报警信息如下：
* a* @; {+ X) ~1002，警报发生在Z轴
3 U* G7 g  M8 K- T4 [: x有时报警：
7 u5 U# y' U: H# m. k& Q1 FC157，Z轴移动中发生动作超时。
1，检查真空是正常的，040吸嘴测真空：620左右，头上无吸嘴时真空130左右
2，吸嘴检测正常。
# k6 h; L/ L: O1 K" d" g& t$ K8 I1 J3 l3，校正Z高度正常。
4，所有吸嘴手动抛料都会报警，用040吸嘴测试过关掉真空，同样报警
5，在系统吸嘴选项里把真空检查关掉，测试仍然NG
求各位高手赐教！

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6号头  杆子变形了

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