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- 资源类型 ： 韩国原厂技术通告
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主题：如果要在DECAN L2中安装Side Tray Feeder，应对DECAN L2的一部分进行改造。改造后必须进行校准（Calibration）。 (更换BUT上板, 改造Conveyor出口端, 更改ANC的组
. ^5 }& b7 ~$ p# [; J$ Y7 _装位置); t& E+ E' d4 Y4 {- G
" G# e4 S V5 \' C+ ^对象: DECAN L2 (可安装的型号: STF-100S)
6 J% \$ ~* w! T: S
& B I8 d, v% y B改装步骤:
* G( v4 v9 o5 M& L9 \+ w2 Q _& X1. 更换BUT上板后，将其移动到更换了传感器DOG的BUT后进行组装$ _% n& i4 e0 k' f
( P7 z/ X) @! b
2. 对Conveyor出口部分进行改造
3 r2 i. a4 P, Y. c& K3. 更改ANC组装位置(移动到Stage Camera前方后进行组装). Q q+ b, Y$ {/ f4 S8 L1 A
4. 执行有关Conveyor的Calibration2 C! Y8 ?: Z9 ?8 {# h& B- N3 t; K
 Common XY Calibration
8 G9 S+ }/ f! ^* c, [. q Conveyor Calibration8 b M" B& a9 U8 m" Z' W5 e+ Y
 Gantry Thermal Mapping
4 M0 L' q, i6 u: e Gantry Mapping+ w" I5 e5 [- {$ C2 I+ b
5. 执行有关ANC的Calibration. \# z- L! P: ]" g: ~
 ANC Pos. Scan
! K$ }" o% d: x1 ] Fiducial Camera Scale
; @/ x# L* u |8 i: j; g Camera Offset) F o" \4 I( J. ~% E
 Head Z / R Offset Calibration1 i# v+ }) W* p" d6 ~/ N+ c! ^
 Head Offset Calibration
1 ^1 J E( h$ P$ } Fly Camera Scale Calibration
& C) ~) e( f* h* W& Z Fly Camera Offset Calibration
0 w! i' F6 ~# D, l/ H* b$ L) P Fly to Fix Camera & Fly Runout Offset Calibration( h- Q7 a$ [" ~
 R-Axis Offset Calibration
3 M! ^7 e4 G" I7 e2 j, N
8 d1 O: {: L6 B9 [% N5 J+ q2 L* `4 e$ C0 ]1 c
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