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- 资源类型 ： 韩国原厂技术通告
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主题：如果要在DECAN L2中安装Side Tray Feeder，应对DECAN L2的一部分进行改造。改造后必须进行校准（Calibration）。 (更换BUT上板, 改造Conveyor出口端, 更改ANC的组; o) i5 G O5 O* f! ]9 d
装位置)5 @; V! o: I+ S* Y
% n" U( R+ |2 H5 Z! M! j- Y# e
对象: DECAN L2 (可安装的型号: STF-100S)2 @+ _0 ?9 E3 S% y8 S
& g* ^2 f) J$ }1 z改装步骤:$ p; H, T' Y" c g4 v
1. 更换BUT上板后，将其移动到更换了传感器DOG的BUT后进行组装( s6 K2 `2 @* A0 a& y. M: N
( z0 M6 W3 h7 n0 R$ H
2. 对Conveyor出口部分进行改造: E6 k" k4 I1 r4 C8 Z1 p, Z
3. 更改ANC组装位置(移动到Stage Camera前方后进行组装)9 f1 J8 I. `6 `" b9 f# G
4. 执行有关Conveyor的Calibration; ?- H# m# f1 r, Z; s* L$ }; ~. g
 Common XY Calibration( T8 q' h& p- j! s4 Q5 m, I
 Conveyor Calibration: Z' `% L7 O* \+ s. I
 Gantry Thermal Mapping
* G4 u9 L3 X' w! N$ k Gantry Mapping
2 w3 {8 m7 W ]/ ^8 u* n) l; L7 {5. 执行有关ANC的Calibration* g9 l( \3 R0 d+ L7 L, B: G
 ANC Pos. Scan# |1 [: b4 i3 U) T; A3 \
 Fiducial Camera Scale
0 ?% F/ @* \9 s1 D* M8 } Camera Offset
& ` i: h }* _: v Head Z / R Offset Calibration% \. P0 e8 d1 n" Z; ^
 Head Offset Calibration
3 t, t: g. h1 G3 P5 ?; N Fly Camera Scale Calibration
& q3 R/ i1 A& `0 u, j; e# f Fly Camera Offset Calibration4 Y- j. n* V7 o' r I. Z
 Fly to Fix Camera & Fly Runout Offset Calibration" K9 u$ V; z5 b1 M9 s4 X2 s/ ]
 R-Axis Offset Calibration
7 J! h+ k' k* \+ g s7 _3 d7 X& y0 e5 v; j! e& m* n$ J
% I" \$ I4 |6 Q0 k |
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